Механическая обработка кремния - Кремний — твердый, хрупкий п/п материал, поэтому для его обработки и резки используются искусственные алмазы, абразивные материалы из SiC и ЛЬОз (корунд). Как правило, путь от кремниевого слитка к полированным подложкам включает 6 операций механической обработки, две операции травления и 1-2 операции полирования. В промежутках осуществляется целый набор операций контроля оценки качества обработки.